高純石墨坩堝在氧化性氣氛（如空氣、水汽）中會緩慢氧化，若真空爐密封不嚴（真空度＜10Pa）或保護氣體（氬氣）純度缺少（含氧量＞0.1%），氧化速度會加快。氧化后的石墨強度下降40%，在熱應力效果下易裂開。某廠因氬氣純度不可（含氧量0.5%），坩堝運用10爐次后側壁就因氧化變薄而裂開。

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